混合洁净室的特点是什么？

　　洁净室可以按照洁净度等级分类，也可以按照产品种类分类，还可以按照气流流型来分类。而混合流洁净室就是按照气流流型分类中的一种。这篇文章给大家介绍这种洁净室的特点。

　　混合流洁净室也叫合式洁净室，为将乱流式和层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。

　　a.洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或者ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖，使洁净度等级级提高到10级以上，可节省安装运转费用。此形式需将作业人员的工作区域与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作和品质，ULSI制程常用此种形式。

　　洁净隧道有两个优点：弹性扩充容易、维修设备时可在维修区请以进行。

　　b.洁净管道(Clean Tuube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提高至100级以上。因产品和作业人员及发尘环境隔离，少量送风即可得到良好之洁净度，可节约能源，不需要人工的自动化生产线最适宜使用。药品、食品工业及半导体业界均适用。

　　c.并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10000~100000之乱流洁净室内的制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

　　洁净工作台：等级Class 1~100级

　　洁净工作棚：为在乱流式洁净室内以防静电之透明塑料布围城以小空间，采用独立的HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高等级的洁净空间其等级为10~1000级，高度在2.5m，覆盖面积在10㎡以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。